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技術(shù)文章

半導體工業(yè)的環(huán)境保護
隨著人們環(huán)境意識的增強，對環(huán)境保護問題的關(guān)注程度也在增強。我們只有一個地球，在發(fā)展經(jīng)濟的 同時如何保護好我們的生存環(huán)境已經(jīng)成為一個緊迫的話題。減輕對地球環(huán)境的負擔，確?？煽亢徒】挡? 保護環(huán)境。以節(jié)約能源節(jié)省資源,廢物再利用，減少廢棄物，管理好化學物質(zhì)的排放成為人們對環(huán)境實施保護的共識。結(jié)合推進ISO14000認證，以建設21世紀綠色工廠為目標，人們在環(huán)境保護方面進行著積 極的努力，半導體制造工業(yè)的特殊性，使得各業(yè)者更加關(guān)注環(huán)境保護問題。 地球溫室效應的防止 防止地球的溫室效應成為近年來被廣泛關(guān)注的熱門話題，在半導體制造行業(yè)中主要涉及兩個方面的問題：
1．節(jié)約能源
半導體工業(yè)的制造設備、空調(diào)設備、冷/熱源設備以及純水、供液、排氣、氣體、電氣等設備的使用以每天24小時、每年365日連續(xù)運轉(zhuǎn)，消耗著大量的能源。從消耗能源的種類來講電力能源約占85％，燃油、蒸汽等能源占15％。從電力消耗的用途來講前工序制造設備約40％—50％，空調(diào)、冷／熱源設備約30％，其它輔助設備約25％。節(jié)約能源、降低成本，提高產(chǎn)品競爭力是各企業(yè)已經(jīng)長期付諸實施的一項工作，一方面通過對現(xiàn)有設備
的技術(shù)改造能夠取得明顯的經(jīng)濟效益，但另一方面現(xiàn)在半導體工廠的投資額巨大，技術(shù)的發(fā)展極快，作為半導體業(yè)者，今后節(jié)約能源的研究方向應在如下方面作出努力：
制造設備方面：提高能源的轉(zhuǎn)換效率從而提高能源的利用率以達到節(jié)約能源的目的；降低設備待機狀態(tài)的電力消耗，相應地減少空調(diào)的負荷以求達到節(jié)約能源的目的；降低設備的排氣量使尾氣處理負荷降低而達到節(jié)約能源的目的；減少設備的安裝面積以此來控制凈化區(qū)的面積達到節(jié)能的目的。輔助設備方面：設備的小型化；減少高凈化區(qū)的面積以求減少空氣循環(huán)的動力消耗從而節(jié)約能源；選用壓力損失小的空調(diào)系統(tǒng)；新型保溫材料的使用促使電力消耗的平穩(wěn)化；新型能源的采用減少使用能源過程中產(chǎn)生的二氧化碳。
產(chǎn)品開發(fā)和工藝設計：開發(fā)高附加值的產(chǎn)品；注重成本的產(chǎn)品開發(fā)(縮小芯片面積，工藝標準化，縮短設計周期)；提高生產(chǎn)(提高產(chǎn)出率，減少工程數(shù)，縮短測試時間)。
半導體工業(yè)的發(fā)展本身產(chǎn)品向高性能化，輕薄短小化，低耗能方向發(fā)展。為機器設備向節(jié)約能源方向作出了貢獻。我們期待著以節(jié)約能源為目的的新型設備的投入使用。
2．減少PFC
PFC ( PRE FLUORO CARBON)在半導體制造上主要是在CVD工程上，作為清潔氣體使用
和在干法刻蝕工程上，作為工藝氣體使用。PFC由于能夠破壞地球的臭氧層產(chǎn)生溫室效應已經(jīng)被列入減少排出對象?，F(xiàn)在大部分沒有被進行處理而直接向大氣排放，減少排出PFC成為今后半導體制造產(chǎn)業(yè)所面臨的一個重要課題。今后的研究方向?qū)@著如下幾方面開展：排出的PFC回收再利用系統(tǒng)的開發(fā)(涉及到如何有效而且低成本的將PFC進行回收、分離、再精制技術(shù))；排出的PFC處理新技術(shù)的開發(fā)(將PFC轉(zhuǎn)換成不產(chǎn)生溫室效應的氣體排放)；替代氣體的開發(fā)(用地球溫暖化系數(shù)小的氣體替代現(xiàn)在使用的氣體；新工藝的開發(fā)(研究新的刻蝕工藝)。日本在1998年4月公布的“控制電子產(chǎn)業(yè)中PFC等排出的計劃”中，提出了以1995年為基準的削減目標，到2010年每個工程的排出量對新線削減70％，對舊線削減10％。在美國也對半導體工業(yè)所使用的PFC的回收率提出了目標。在這里提請國內(nèi)的業(yè)者及早關(guān)注此問題。工業(yè)廢物半導體制造工程中減少工業(yè)廢物的基本原則：制造方法的改變。通過制造工藝的改變減少再資源化處理困難的藥品使用量；優(yōu)化工藝條件，減少使用量；對使用后的藥品分別回收，以求再資源化；除害裝置的改進。提高除害效率，回收裝置本身排出的廢液。減少工業(yè)廢物的研究方向：再資源化處理困難的工業(yè)廢物的開發(fā)利用；提高再資源化的推進質(zhì)量；提高藥品的使用效率。設備方面的改進使藥液的利用率提高，開發(fā)新的工藝減少藥液的使用量；再資源化型材料的替代。
化學物質(zhì)
半導體制造過程中使用了多品種大量的化學物質(zhì)?；瘜W物質(zhì)的運輸、儲存、使用和排放有嚴格的規(guī)定。政府主管部門都制定了相關(guān)的法律法規(guī)，但是，由于半導體技術(shù)發(fā)展迅速，大量新型化學藥品的開發(fā)和使用，使得相對而言立法和管理落后。這要求業(yè)者從保護環(huán)境的目標出發(fā)，自覺有效地管好用好各種物品，避免發(fā)生各種意外事件。隨著人們環(huán)保意識的加強，人們也更加關(guān)心環(huán)保問題。這更加促進業(yè)者自覺加強化學物品的自主管理，促進使用量的減少。其對策主要為：化學物質(zhì)減量(減容)，再資源化，再利用；替代物質(zhì)的開發(fā)；自主管理。自主監(jiān)察；法規(guī)建立。特種氣體半導體工業(yè)中使用了大量的特種氣體，有腐蝕性氣體、可燃性氣體、有毒性氣體。生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的特種氣體廢氣，其處理的好壞直接影晌著環(huán)境。特種氣體的事故由于在半導體工業(yè)中過去數(shù)十年屢有發(fā)生，給生產(chǎn)的穩(wěn)定運行帶來了很大的影響，同時造成了環(huán)境方面的污染，因此特種氣體的管理成為環(huán)境保護所關(guān)注的又一敏感問題。
1．廢氣的處理
在目前對特種氣體廢氣主要采用吸附技術(shù)和洗滌中和技術(shù)。通過裝有活性炭和有機堿的吸附筒對廢氣進行吸附處理，通過洗滌塔內(nèi)的堿性溶液與酸性廢氣進行中和。但是，對于既不能被有效吸附又非酸性的氣體兩種技術(shù)就存在著不足之處。近來被廣泛采用的ESCAPE系統(tǒng)由于使用了燃燒和洗滌技術(shù)的結(jié)合而有效地解決了對廢氣的處理。其主要工作原理是采用將燃燒室與洗滌塔集成在一體的形式，在燃燒室內(nèi)根據(jù)氣體的性質(zhì)和構(gòu)成采取氧化、還原、高溫分解的方式對其進行熱分解，產(chǎn)生的氣體再通過堿性的洗滌塔以除去生成酸性氣體和懸浮顆粒。
2．特氣事故的預防

加強可靠管理預防事故發(fā)生。從特種氣體的可靠教育開始，提高從業(yè)人員的可靠知識。制定和完善特種氣體泄漏時的可靠對策。選用自動化和標準化程度高的特種氣體供氣裝置及生產(chǎn)制造裝置，選用靈敏度高和可靠性高的特種氣體檢測儀器。認真做好特種氣體相關(guān)連設備和裝置的定期點檢。從1996年發(fā)布ISO14000環(huán)境管理國際認證標準之后，至今已經(jīng)有數(shù)以千計的工廠取得了這種被稱為通向世界的綠色通行證。相信，通過我們半導體行業(yè)人土的共同努力，我們定會對我們的地球的環(huán)境保護作出應有的貢獻。


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